二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus L/S #293666857 待售

TEL Vigus L/S是一款蝕刻器/asher,以其在微加工應用中的性能和可靠性而聞名。此設備使用濕法和幹法的組合,對表面進行陣列、蝕刻、曝光和/或修改,使其達到各種復雜程度。TOKYO ELECTRON VIGUS L/S實現的強蝕刻速率使得它成為從精密器件到納米材料等各種結構的常規生產的理想選擇。TEL/TOKYO ELECTRON Vigus L/S適用於從矽、二氧化矽和玻璃基板到有機聚合物箔的廣泛基板，也可用於金屬、陶瓷等其他材料。該裝置使用特殊的處理室來引導蝕刻氣體，而加熱的淋浴頭則確保所有參數的均勻性。它還擁有先進的用戶控制和反饋系統，以獲得準確和可重復的結果。設備的蝕刻速率可高達10nm/min。可以精確控制蝕刻。TEL Vigus L/S還提供了廣泛的工藝參數,如氣體流量、壓力、溫度、曝光時間,並具有在保留橫向表面臺階的同時蝕刻淺層特征的靈活性。該裝置具有用戶友好的設計和先進的安全特性，相當可靠。低壓主電源和排氣功能提供了額外的保護。此外，該裝置還有一個綜合質量監測系統，有助於確保產品質量和安全。TOKYO ELECTRON Vigus L/S具有極大的彈性，可以調整以滿足任何特定應用的要求。該設備具有高分辨率,可以進行優化以提供可重復和可靠的結果。它非常適合需要對表面材料進行圖案化、蝕刻或曝光的各種項目。該裝置可以作為光刻系統的輔助，也可以作為獨立蝕刻器執行。總之，TEL/TOKYO ELECTRON Vigus L/S是一種可靠、功能強大的蝕刻器/asher，滿足所有微加工應用的要求。其快速蝕刻速率、先進的工藝參數、用戶安全特性以及集成的質量監控系統，使其成為各種工藝的理想選擇。