二手 TEL / TOKYO ELECTRON VIGUS MASK #293587427 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON VIGUS MASK是一種著名且可靠的蝕刻器/asher設備,適用於各種工業應用。TEL VIGUS MASK由一系列連接的蝕刻工具組成,允許高效、精確的蝕刻過程。該系統通過三個不同的組成部分運作。首先,聚合物基板夾在兩個導電層之間,然後轉移到蝕刻頭,在那裏發生受控蝕刻過程。該蝕刻頭配有掩蔽托盤,能夠分層蝕刻目標區域,並在基板上創建狹窄的特征。蝕刻過程隨後由一個基於機器人的搬運裝置輔助,該裝置配有一個專門的拾取和放置臂,該臂將基板定位進行蝕刻。此外,機器還可配備集成通風和冷卻工具,允許優化工藝冷卻,減少蝕刻工藝造成的熱不整合。蝕刻過程完成後,基板將移動到資產的另一個區域以進行邊緣輪廓分析,並與其他組件分離。該過程由線性同步電動機和集成的電動機扭矩控制模型完成,從而在輪廓分析中實現最大精度。最後,基板被移動到設備的最後區域,在那裏進行標記和排序以便進一步加工。該系統能夠標記、分類和檢查組件以確保質量,使其成為任何制造過程的寶貴資產。總體而言,TOKYO ELECTRON VIGUS MASK是一個令人印象深刻且可靠的蝕刻/asher單元。其集成組件協同工作,提供高效的蝕刻過程,能夠創建精確的組件。該機器還允許優化工藝冷卻、邊緣剖面分析以及標簽和分類,以保證質量,使其成為任何制造工廠的一項巨大投資。
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