二手 TEL / TOKYO ELECTRON VIGUS MASK #9241307 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VIGUS MASK是來自TEL的最先進的蝕刻設備。是用於制造集成電路、半導體器件等微電子元件的非標準光刻系統。該單元用於薄膜的化學蝕刻、表面預處理和半導體基板的各種化學處理。它主要用於半導體材料的圖樣蝕刻和蝕刻相關處理，包括金屬和多晶矽層。它旨在節省時間，最大限度地減少化學廢物，優化生產吞吐量。TEL VIGUS MASK配備了高性能陰極射線管（CRT），是該機的主要部件。這CRT投影光刻面膜在晶片上的微細細節。該光掩模由不透明的材料如鉻制成，並以所需設備結構的圖像圖案。面罩由一個特殊的夾具固定到位，CRT通過面罩和晶片投射出明亮的光。投射光的強度根據遮罩的光學特性而變化，從而可以精確控制被蝕刻到晶片中的圖樣。TOKYO ELECTRON VIGUS MASK配有紫外線光源，用於固化光刻膠及其他化學處理。它也可用於晶圓的清潔和離子化以及蝕刻前的預處理。此外,VIGUS MASK還配置了蝕刻軟件,允許操作員調整蝕刻工藝參數,如停留時間、晶圓溫度和蝕刻濃度。此外，TEL/TOKYO ELECTRON VIGUS MASK的設計采用背面濺射鋁制腔室，可提供額外的保護，防止外部汙染。它還配備了由反應性離子蝕刻器產生的隔離氧化膜層，有助於保護薄膜層在蝕刻過程中免受氧化。該工具設計得極其可靠和有效，提供先進的蝕刻能力，同時最大限度地減少有毒排放和廢物。總之,TEL VIGUS MASK是一種高精度蝕刻資產,具有廣泛的特性和功能。該模型非常適合用於半導體制造，允許各種薄膜和微電子元件的精確高效蝕刻。這種設備的設計也具有成本效益，提供了一些有助於減少浪費和最大限度地提高吞吐量的功能。