二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus Nest #293585745 待售
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ID: 293585745
Etchers
TAC-3WWZZWW Power rack
(2) Loader modules
PM5
PM2
PM6
PM1, PM2, PM5:
TEL / TOKYO ELECTRON DC Power unit assy
SHIMAZU TMP-W3503LMC(T2) TMP
VAT 65048-JHGH-AX01 APC
MKS 722A21TGA2FA TMP PT Sensor
MKS 51A11TGA2BA010 VAC Pressure switch
MKS 41A130GA2AA040 ATM Pressure switch
(2) SMC XIAQ-25-X884 V36, 37 VAC Valves
SMC XLAQ-16HO-XO Gauge VAC valve
SMC CQEB-S63-44 5S-DCI825GI Shutter air cylinder
TEL / TOKYO ELECTRON V1Y-50-1024 EPD Sensor
TEL / TOKYO ELECTRON SE2000T EPD Controller
TEL / TOKYO ELECTRON SE2000-1M EPD Fiber
INFICON BPG-400 BA Gauge
MKS DMARETGAEKNV633 CM1
MKS DMA11TGAEKNN633 CM2
HORIBA GP-Z104-C HE PCV Center
HORIBA GP-Z104-F-2 HE PCV Edge
CKD TPR4-05-A100T-X0005 Gas flow splinter
MKS MW2-500340 Dual matcher
MKS GEW-3540 HF Generator
KYOSAN HV-PS8 HV Power supply
RKC RCB-88-2 Temperature cont box
JRC NFH-247 Heater filter
KYOSAN TW6 RF Filter
HORIBA IT-4700 Top thermometer
TEL / TOKYO ELECTRON Valve box assy
TEL / TOKYO ELECTRON TAB22E-1/LOW-LF LOW/PURF Board assy
(2) TEL / TOKYO ELECTRON TYB113-1/I01-LF LOW/PURF Board assemblies
TEL / TOKYO ELECTRON TYB22D-1/UP-LF UP Board assy
TEL / TOKYO ELECTRON TYB113-1/I01-LF UP Board assy
TEL / TOKYO ELECTRON TAB229-*/GAS2 UP Board assy
(2) TEL / TOKYO ELECTRON TYB113-1/I01-LF Gas board assemblies
(2) TEL / TOKYO ELECTRON TYB313-1/DND Gas board assemblies
RF Rack 1,2 (PM1, PM2, PM5, PM6):
SHIMADZU EI-D3503M-TV2 TMP Controller
MKS B-5303 LF Generator
TEL / TOKYO ELECTRON PR-IF PM V2E PR IF Box
KYOSAN HPK06ZI-TE4 DC Power supply
SHIMADZU EI-D3503M-7V2 TMP Controller
MKS B-5303 LF Generator
TEL / TOKYO ELECTRON PR-IF PM V2E PR IF Box
KYOSAN HPK06ZI-TE4 DC Power supply
TEL / TOKYO ELECTRON Water leak box
TEL / TOKYO ELECTRON PCW Line (Supply.return)
RF Rack 1,2 (PM1, PM2, PM5, PM6): TEL / TOKYO ELECTRON E2B030-12/KVD FPDIF
Missing parts
PM1: Top valve box cover
PM2:
Front cover side fan
TAB229/Gas2 Board cover
Top valve box cover
PM5:
TAB229/Gas2 Board cover
Chamber right: Duct cover
Top valve box cover
AC Dist 1, 2:
KYOSAN J-P33C33G33G33-HH-HPA AC Rack
(2) FUJI ELETRONICS SA203CUL Main breakers 1, 2
FUJI ELETRONICS EA103CUL CVCF Breaker
DENKEN SEIKI NCT-F5 Transformer
TEL / TOKYO ELECTRON TAB343-1/AC Board.
TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Nest是一種幹蝕刻工具，設計用於晶圓加工，用於半導體和光伏行業。它是一種高性能的工具，設計用於幹燥過程，如蝕刻和沈積。TEL Vigus Nest有能力蝕刻矽、的、多晶矽等多種材料。該工具設有兩個主腔室，包括主蝕刻腔室和載重鎖腔室。主室包含上、下電阻加熱板單元，而負載鎖室則有單電阻加熱板單元。加熱板單元可用於在一個批處理過程中蝕刻晶片的兩側，提高吞吐量。該系統還能夠控制溫度和基板穩定性，以達到可重復的效果。TOKYO ELECTRON Vigus Nest還利用多級、多區域的RF等離子體激光器配備了獨立的控制處理器，允許對等離子體功率密度和蝕刻條件進行精確和控制。該工具共有八個射頻等離子體，最大功率輸出為25kW。它還有三個氣體噴射器，可以在脈沖、恒流和閉環質量流控制模式下操作。這樣可以靈活地進行蝕刻工藝設計,以獲得最佳效果。該工具還附帶了用於配方開發、性能監控和操作系統診斷的軟件,使用戶能夠最大化Vigus Nest的功能。該軟件為復雜的蝕刻過程提供了簡單的編程,並提供了全面的數據維護,便於參考。用戶還可以跟蹤蝕刻數據和其他工藝參數，提供有價值的見解和反饋，以優化蝕刻工藝。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Nest是一款多功能蝕刻工具，適用於半導體和光伏行業的廣泛應用。它具有出色的控制和可重復性,能夠實現高吞吐量的精確蝕刻過程。綜合軟件提供了優化和數據維護的綜合平臺，幫助用戶取得最佳效果。
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