二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus QN #293666858 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus QN是一款為先進半導體器件加工而設計的蝕刻設備。它基於TEL VIGUS直寫光刻方法，並配備了包括單晶片幹蝕刻、圖樣、塗層操作等多種工藝。該系統設計用於在各種各樣的基板上進行大範圍的精密蝕刻操作，如矽、不銹鋼、復雜材料等。先進的直接寫入光刻工藝利用電子束圖樣在基板上創建非常高精度、可重復和高度可配置的圖樣。這提供了卓越的準確性和可重復性，即使在非常高的縱橫比。TEL Vigus QN采用大型4軌模式發電機設計，可實現高速吞吐量。這允許同時蝕刻不同的基板，從而提高生產率。它還采用聚焦離子束（FIB）源設計，以提供更高的蝕刻精度，可用於沈積、蝕刻、犧牲層等多種場所後處理模塊。TOKYO ELECTRON Vigus QN還包含一系列功能，以提供改進的蝕刻工藝控制。其中包括精確的壓力控制單元、堅固的真空機、溫度反饋控制工具以及閉路監控資產,以幫助確保在不同基板上實現一致的蝕刻結果。該模型還包括一系列硬件和軟件解決方案，以促進數據分析、審查和決策過程。綜上所述，Vigus QN是一款先進的蝕刻設備，旨在為各種基材提供精密蝕刻能力。它利用直接寫入光刻技術,實現精確、可重復和高度可配置的模式。它配備了實現高精度蝕刻的先進功能，以及多種其他工具和功能，以確保高效可靠的操作。