二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293592518 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是一種蝕刻器/asher，用於矽片基板的圖樣化。它能夠對蝕刻深度和角度進行非常精確的控制。TEL Vigus通過其創新的設計，為半導體器件的開發實現了精細結構和深溝的蝕刻。TOKYO ELECTRON Vigus是一種利用深度蝕刻和平面蝕刻的垂直電化學（EC）蝕刻設備，配備獨特的多級幹蝕刻（DE）能力。它旨在幫助半導體制造商創建高分辨率結構和各種蝕刻幾何形狀。它能夠將彎曲和非標準形狀圖案化為矽基板。Vigus被設計為易於安裝和操作的操作員友好系統。它使用帶有內置控制器的噴墨誘導過程,使用戶能夠調整諸如曝光、停留時間、沖洗和清除等參數。用戶可以調整極對極、曝光、背景等各種屬性。此外,該單元還具有實時配方可視化程序,可在蝕刻過程中為用戶提供反饋。TEL/TOKYO ELECTRON Vigus以高性能AC供電的垂直多級電化學蝕刻機操作，以提供高度自動化和精確的蝕刻工藝。憑借先進的控制功能，TEL Vigus可以加工氧化物、氧化矽、玻璃等多種材料。該工具具有快速、精密的蝕刻工藝，可方便地處理低、高長寬比結構，精度高。TOKYO ELECTRON VIGUS是一種可靠、高效的蝕刻資產，非常適合半導體晶圓制造商尋求精確、經濟高效的解決方案來滿足其加工需求。該模型采用多合一、易於操作的設計,能夠使用戶以高精度和可重復性生成復雜的模式。此外,該設備是當今市場上為數不多的具有直接到芯片、多階段、可靠和高效工藝的蝕刻系統之一。