二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293630270 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是為高性能和精確度而設計的先進蝕刻/asher設備。該系統采用了先進的幹燥蝕刻、先進的沈積和高精度計量等先進技術。可用於設備開發、耐用性評估、設備制造等應用。先進的幹蝕刻技術使蝕刻具有高的選擇性和高精度。這一單元帶有多種蝕刻氣體，允許用戶定制其蝕刻工藝以滿足他們的需求。先進的沈積提供了電介質和導電材料的高速、高質量、穩定的沈積。通過快速的蝕刻和沈積提高了吞吐量，高精度計量保證了質量控制。TEL Vigus 蝕刻器/asher是一種具有直觀用戶界面的自動化機器，易於學習和操作。它還支持廣泛的控制系統，允許對過程參數如壓力、溫度和其他過程變量進行優化。該工具還配備了高級流程監控資產，可實時記錄流程參數和其他操作信息。該模型帶有各種環境管理系統，以確保安全運行。這些系統包括直流電源、脈沖發生器、氣體輸送設備和安全聯鎖裝置,可防止任何未經授權的訪問或更改。TOKYO ELECTRON Vigus 蝕刻器/asher系統適合生產幾何形狀復雜、長寬比高的器件。它還具有處理大小範圍晶圓的靈活性。該單元運行在高性能的計算機網絡上，可以連接到各種生產系統進行過程控制和數據收集。Vigus蝕刻機是一種可靠、有效的高質量器件蝕刻沈積器件。它為半導體工業和電子制造的各種應用提供了高效、精確的設備制造。此工具可幫助制造商降低生產成本並提高產品質量。