二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293826900 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是一種用於精密等離子體蝕刻和抵抗灰化的蝕刻器/灰化器。本機設計精確度優越，非常適合高精度蝕刻需要。由於其聚焦光束,它能夠以非常精細的分辨率進行蝕刻。TEL Vigus有一個基於激光的蝕刻設備，可以根據各種蝕刻速率進行校準。它能夠用一系列氣體進行蝕刻，例如氧氣、氙氣和氮氣，並且可以根據用戶的需要創造多種模式。它還能夠更改蝕刻輪廓以優化模式性能。該機配備了先進的控制系統，能夠分析來自多個波束源的信號，優化集成蝕刻工藝。此單元可降低模式精度錯誤的級別,並提高蝕刻結果的可重復性。該機還具有介電柵極功能，可防止圖樣蝕刻發生在敏感特征附近。TOKYO ELECTRON Vigus的特點是具有抗蝕性的灰化機，能產生高分辨率的抗蝕性去除效果，適合高精度蝕刻要求。該蝕刻器可提供均勻的抗蝕劑去除厚度和速度。它還提供了一個不需要高壓插頭的低汙染物灰化工具，它提供了可靠和高效的蝕刻結果與最小數量的顆粒。Vigus是一款小巧輕巧的蝕刻器，用戶友好，操作方便。它還具有持久而不引人註目的設計，因為它不會產生煙霧或氣味，因此可以很容易地保存在實驗室中。此外,它還具有提供無與倫比的蝕刻速度的高功率光束。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是一款先進品質的蝕刻器/asher，提供了精密蝕刻所需的可靠高效的蝕刻質量，並抵抗了灰燼的需求。它提供了多種功能,非常適合要求苛刻的蝕刻應用程序,其強大的控制資產保證了高精度。本機適合於各種蝕刻和灰化工藝學科，提供優異的蝕刻效果，不會產生煙霧或氣味。