二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293829838 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus，由日本領先的蝕刻和灰化機制造商生產，是為半導體器件制造工藝設計的高性能蝕刻/灰化器設備。該系統由兩個模塊組成：真空歧管和加熱器/導引裝置。真空歧管包括一個真空室，其中包含一組工藝氣體噴嘴，以及一個真空單元，提供對腔內壓力和背景氣體的精確控制。加熱器/制導單元由高性能加熱器和晶片級組成，用於在蝕刻和灰化過程中精確引導和控制晶片。這兩個模塊可產生可靠且可重復的蝕刻/灰化環境,從而確保高產率。TEL Vigus提供了較高的蝕刻速率和均勻的清洗結果，使先進的半導體加工成為可能。其設計能夠沈積高質量的氧化物和氮化物薄膜，在小螺距電路中進入緊密的縫隙，並提供高質量的灰化。這臺靈活的機器可以容納各種尺寸的基材，從200毫米晶圓到超小型芯片。TOKYO ELECTRON Vigus還提供晶圓表面溫度和蝕刻/灰化率的實時監控。它還包括一個用於監控過程參數的控制和分析工具，以及用於自動化操作的增強過程控制。這確保了準確的過程結果。Vigus提供陽極和陰極腔室設計，能夠支持先進的離子束蝕刻和高密度等離子體灰化。它在不同的基材尺寸上提供了極好的均勻性，允許嚴格的過程控制。它還支持一系列多樣的制造工藝，包括幹膜抗剝離、過度蝕刻和金屬線條蝕刻。此外,它的安全功能確保了操作的一致性和可靠性,有助於保護過程控制。TEL/TOKYO ELECTRON Vigus被廣泛的行業使用，包括半導體、納米技術和生物技術。這種蝕刻器-asher資產產生出色的蝕刻和灰化效果，為用戶提供更高的收益率和過程效率。它的可靠性和安全性使其成為各種應用的理想選擇。