二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #9235079 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是一款蝕刻器或asher，通過將先進的蝕刻/ashing概念與來自TEL的多種技術創新相結合，提供最佳性能、精確控制和通用應用。TEL Vigus蝕刻機的平臺由底架、真空室、蝕刻室和控制單元組成。底架容納腔室和控制單元，提供機械穩定性和堅固的基礎。這些腔室設計用於精確的溫度和壓力控制，並提供精確的均勻和可重復的蝕刻/灰分處理。控制單元包含真空泵、溫度控制器、過程監控系統和配方，以及控制過程參數的PLC，以及蝕刻器的電源。TOKYO ELECTRON VIGUS有6種製程氣體，可以以精確的流量、速度和壓力輸送到製程室。這使得在同時處理多個晶片時可以精確控制蝕刻/灰分處理，實現緊密的均勻性和重復性。提供了一個石英視口,用於對過程進行目視檢查。Vigus還集成了許多額外的過程和功能。為了幫助確保過程的可重復性,提供了用於晶圓存儲、加載和卸載的堆叠機制。原位計量能力允許精確的過程控制，無需額外的外部計量。流程配方可以快速調整,並通過RS232C接口從PC傳輸。TEL/TOKYO ELECTRON Vigus的真空室裝有差速泵。這樣可以實現快速的泵降時間和非常穩定的低壓環境。環境室最多可容納200毫米基板，還可添加一個可選的大批次板（400mm）。這為TEL Vigus提供了處理各種基材的靈活性。TOKYO ELECTRON VIGUS是一種可靠、精密的蝕刻器/asher，能夠處理各種底物。它提供了高度的過程控制和統一性，允許用戶實現他們所期望的和可重復的過程結果。