二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #9270936 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是一款先進的蝕刻器/asher，用於半導體工業中，用於矽等材料的精密蝕刻、成型和圖樣。這種高科技設備基於幾項關鍵技術，使其能夠提供卓越的準確性和可重復性。其先進的蝕刻工藝涉及一種閉環控制設備，可以精確監控和調整蝕刻圖案尺寸。TEL Vigus提供了一個多功能的蝕刻室和基板級組件,它允許對復雜的特征（如通孔、BGA蓋和厚元件）進行陣列化和蝕刻。這種精確蝕刻精確特性的能力使制造商能夠顯著降低工藝的可變性和產量損失。另外，TOKYO ELECTRON Vigus先進的光學元件通過減少光束暴露來減少蝕刻副產品。Vigus配備了雙氣體輸送系統，供應不同氣體進行蝕刻和側壁覆蓋。該系統可以不間斷地完成蝕刻步驟，減少反應時間，優化蝕刻圖樣的均勻性。該蝕刻器還可以輸出多種掃描模式，以允許在廣泛的參數範圍內精確控制蝕刻速度。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Vigus提供電容耦合等離子體（CCPMA）技術，根據使用的晶圓材料類型獨立設定蝕刻功率。TEL Vigus也是為了安全穩定而設計的。高級控制單元具有自我診斷機器,用於檢查程序錯誤,以防止可能的刀具損壞。此外,集成的安全資產可確保蝕刻器始終保持在指定參數內,即使稍作更改也是如此。總體而言，TOKYO ELECTRON Vigus是一款先進的蝕刻器/asher，為半導體生產提供了廣泛的特性和能力。其先進的蝕刻技術提供了對蝕刻工藝的精確控制，而其雙氣體模型則減少了反應和蝕刻時間。集成的安全系統確保設備在要求最苛刻的半導體生產環境中保持穩定可靠。