二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #9276792 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Vigus是一款由頂級電子公司TEL開發的蝕刻器/asher。這臺機器的設計目的是在各種基板的表面微觀結構和制造過程中實現超高效率。TEL Vigus有能力對包括矽、砷化氙和氮化的一系列底物進行蝕刻、灰化和其他相關表面工藝。該機配備了深度控制沈積濺射設備和較大的動態範圍進行蝕刻控制。它提供了出色的精度和均勻性,以及一個理想的界面處理不同類型的基板。此外,TOKYO ELECTRON Vigus還配備了多光束掩模對準系統,用於精確對準、高分辨率和電子束光刻速度,以及堅固的晶圓處理單元。這樣可確保在高吞吐量下優化曲面處理,同時保持精確的形狀和尺寸控制。該機由於模塊化設計,易於維護和操作,使得個別零件的升級和維修成為可能。此外,它還配備了一臺板載診斷機器,該機器與自動故障檢測器集成在一起,可方便維護和快速響應潛在問題。最後,Vigus還配備了出色的售後服務以及培訓和咨詢服務,以確保從這臺高級機器中獲得各種好處。它提供超高性能和準確性,並將缺陷形成的風險降至最低,從而使用戶能夠加快產品開發過程。
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