二手 TES / TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT #293595225 待售

ID: 293595225
優質的: 2012
Dry etcher (4) Load ports BROOKS AUTOMATION Robot 2012 vintage.
TES/TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT etcher/asher是一種用於半導體工業的精密晶圓處理設備。它提供了精確且可重復的蝕刻和過程控制,專門為滿足高級生產應用程序的需求而設計。TES CUMAX-FT提供卓越的蝕刻和過程控制,具有可靠的重復性。它能夠提供高質量的蝕刻結果,並提高吞吐量和降低擁有成本。科學技術引擎CUMAX-FT可以處理尺寸不超過4英寸的晶片,並且具有0-20 μ m的可調蝕刻間隙,以實現卓越的工藝控制。其改進的設計包括多個蝕刻角度,提供一致的蝕刻結果,減少缺陷。它還具有處理各種蝕刻工藝的能力,包括幹蝕刻、矽蝕刻和介電蝕刻工藝。CUMAX-FT的蝕刻室采用低體積、高真空約束的結構,保證了均勻的均勻蝕刻速率。它的自動腔室清潔能力減少了所需的維護周期,提高了流程的可重復性和整體效率。它還裝有多個壓力和溫度傳感器,用於精確控制工藝參數。TES/TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT還配備了用戶友好的控制系統,方便設置和操作。它具有改進生產成果的先進工藝控制算法,精通快速過渡到生產的工藝配方實現。此外,系統還具有用於遠程PC控制和離線數據記錄功能的通信接口端口。TES CUMAX-FT是一款可靠的蝕刻引擎,非常適合高精度應用。其先進的特性和可靠的可重復性使其成為生產環境的絕佳選擇。此外,它易於使用,因此適合集成到任何研發或生產設置中。
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