二手 TITANIUM Plasmax 800A #293760247 待售

TITANIUM Plasmax 800A是在半導體、微電子、MEMS和光子工業中為精密蝕刻和清洗工藝而設計的先進等離子體蝕刻器/asher。這種最先進的設備提供卓越的等離子體均勻性、控制性和多功能性,使其成為研發和高容量制造環境的理想解決方案。Plasmax 800A配備高功率射頻（RF）發電機，能夠向等離子體室輸送高達800瓦的功率。這種高功率容量允許對各種基材進行高效、快速的加工，包括矽片、玻璃、陶瓷和聚合物。射頻發電機的設計目的是提供穩定可靠的功率輸出，確保在較長的運行時間內具有一致的蝕刻性能。TITANIUM Plasmax 800A的一個關鍵特點是其先進的氣體輸送系統，它能夠對過程化學和等離子體參數進行精確控制。該單元配備了調節多種工藝氣體流量的質量流量控制器，允許用戶根據特定材料要求量身定制蝕刻和清洗工藝。此外，氣體輸送機的設計目的是盡量減少氣體消耗和浪費，優化工藝效率和成本效益。Plasmax 800A的等離子體室由高純度材料如不銹鋼和石英構成，以確保與廣泛的工藝化學體系兼容，並維持超高真空條件。該腔室采用符合人體工程學的設計，方便基板的裝載和卸載，以及有效的散熱，以防止長時間運行時過熱。TITANIUM Plasmax 800A配備了用戶友好、直觀的控制界面，允許操作員實時監控和調整流程參數。該工具配備了先進的等離子體診斷工具，如光學發射光譜和質譜，能夠對等離子體種類和工藝副產品進行現場監測。這種實時反饋機制確保了對蝕刻和清洗過程的精確控制，從而產生一致和可重復的結果。除了卓越的性能和可靠性外,Plasmax 800A還考慮到安全性和可持續性。該資產配備了多種安全聯鎖和故障安全機制，以保護操作員和設備免受潛在危害。此外，該模型的設計通過納入節能組件和減少加工氣體和化學品的消耗，盡量減少對環境的影響。總體而言,TITANIUM Plasmax 800A憑借其卓越的性能、先進的功能和用戶友好的設計,為等離子體蝕刻和清潔技術樹立了新的標準。無論是用於研發目的還是用於大批量制造應用,這種尖端設備在緊湊且經濟高效的包裝中提供了無與倫比的精確度、可靠性和效率。