二手 TOK OAPM-301B #9111751 待售

TOK OAPM-301B
ID: 9111751
O2 Plasma system.
TOK OAPM-301B是一種高性能的蝕刻器/灰泥設備,設計用於需要對基板進行精密蝕刻/灰泥處理的各種應用。它采用了最先進的設計,具有緊湊、易於操作的系統,適合手動和自動操作。OAPM-301B設計用於提供基材的快速蝕刻和/或粉刷,並具有卓越的可重復性以獲得一致的結果。TOK OAPM-301B配備了高功率、高效的等離子體蝕刻器。電源能夠提供廣泛的電源設置,以匹配蝕刻或灰化應用程序,從而在各種基板上提供最佳性能。該蝕刻器從一個單獨的源中汲取惰性大氣,並在蝕刻或灰化過程中將其與等離子體混合。等離子體功率水平可以從0瓦調整到600瓦,使得這個單元非常適合輕重蝕刻或灰化應用。OAPM-301B具有一個溫度控制的基板支架和一個獨立的四級真空室,允許快速循環時間和均勻疏散蝕刻或灰化環境。該真空機由水/乙二醇工具控制和維護,以確保最佳性能和可重復性。腔室具有0至10 mbars絕對的低壓範圍和0至10kHz的寬頻率範圍。該資產設計為易於使用,具有直觀的用戶界面以及清晰標記和組織的控制旋鈕和按鈕。還提供各種可選的附加組件,包括自動開門/關閉、自動操作模型、用戶可編程配方和自動攪拌功能。所有這些特性使得TOK OAPM-301B精密蝕刻或灰化應用的絕佳選擇。
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