二手 TOK TCA-3400 #9142656 待售

TOK TCA-3400是一種自動蝕刻和灰化設備，設計用於從各種微電子基板中精確去除材料。這個最先進的系統采用了蝕刻和灰化工藝的最新技術。TCA-3400能夠在尺寸不超過8 「x 8」的基板上進行廣泛的蝕刻和灰化處理。該裝置具有高精度的溫度控制和精確的流暢調節，保證了高精度的重復效果。它還具有以下特點：溫度調節、高速運行、無汙染腔室設計、樣品和基板冷卻系統以及大量的蝕刻和灰化化學。TOK TCA-3400設計有兩個獨立的加工室，一個用於蝕刻，一個用於灰化。這兩個腔室都配備了速效加熱元件，保證了快速的溫度控制和高的工藝精度。這些密室也不受汙染，確保工藝條件保持一致和清潔。蝕刻室設計為提供幾種不同的蝕刻化學。本機支持電感耦合等離子體（ICP）和反應性離子蝕刻（RIE）工藝。這兩種工藝化學方法都利用了冷卻的等離子體，這種等離子體可以在底物失真最小的情況下進行蝕刻。與傳統的濕蝕刻工藝相比，RIE工藝可實現精確的深度控制和更高的蝕刻速率。Ashing chamber is ability to ploying wet and dry ashing techniques.濕灰化技術使用高反應性蝕刻溶液，氧化基板表面，留下薄膜。這種薄膜提供了防止進一步蝕刻或沈積的保護。幹灰化技術可有效去除細膩基板上的殘留物，可用於制造復雜的圖樣或納米結構。TCA-3400非常適合矽、GaAs和各種聚合物等材料。該工具提供了一個用戶友好的界面，可以很容易地編程定制蝕刻和灰化過程。利用這一資產,用戶可以期望獲得可重復和精確的結果,即使在高吞吐量應用程序中也是如此。