二手 TOKUDA CDE7-3 #293819193 待售

TOKUDA CDE7-3是一種高度先進的蝕刻/asher設備，設計用於對半導體和微電子制造中使用的各種材料進行精確和高效的處理。此通用工具提供了廣泛的功能和功能,使其成為研究和生產設施的首選。在其核心，CDE7-3配備了一個堅固的基於等離子體的蝕刻/灰化室，允許從基板表面選擇性去除材料。此過程對於在半導體晶片、顯示面板和電子設備中使用的其他高級材料上創建復雜的模式、結構和特征至關重要。TOKUDA CDE7-3利用等離子體化學和物理濺射技術相結合，在整個基板表面實現高蝕刻/霧化率和均勻加工。這對於保持制造過程的一致性和一致性,確保最終產品的質量和可靠性至關重要。CDE7-3的關鍵特征之一是其先進的射頻供電系統，它允許精確控制功率、頻率和占空比等等離子參數。此控制級別對於優化不同材料和基材尺寸的蝕刻/灰化工藝,確保高工藝重復性和效率至關重要。除先進的射頻供電裝置外，TOKUDA CDE7-3還配備了一臺先進的氣體輸送機，可在蝕刻/遮光室內精確、均勻地分配加工氣體。此功能對於實現均勻的蝕刻速率和選擇性、最大程度地減少側壁損壞以及確保高度的過程控制至關重要。CDE7-3還具有高度可定制的過程配方管理工具,允許用戶為特定應用程序和材料創建和優化蝕刻/灰度配方。這種靈活的資產使用戶能夠微調流程參數,如氣體流速、壓力、溫度和等離子體功率,以獲得所需的蝕刻/灰化結果。為了加強過程監測和控制，TOKUDA CDE7-3配備了一套全面的診斷和計量工具，包括原位等離子體傳感器、光發射光譜和端點檢測系統。這些工具能夠實時監控過程參數、檢測過程偏差以及優化蝕刻/灰化配方以提高過程性能。在安全性和可靠性方面，CDE7-3設計有多個安全聯鎖、真空完整性監測系統和緊急關機協議，以確保安全運行，保護設備和操作員免受潛在危害。總體而言,TOKUDA CDE7-3是一種尖端的蝕刻器/asher模型,它為各種半導體和微電子制造應用提供了先進的功能、精確的工藝控制和高可靠性。它的多功能性、靈活性和用戶友好的界面使其成為研究實驗室、試點生產線和大批量制造工廠的理想工具,這些工廠力求以高吞吐量和高效率實現卓越的蝕刻/灰化效果。