二手 TOKYO OKA / TOK OPM 1200 #9269154 待售

TOKYO OKA / TOK OPM 1200
ID: 9269154
Plasma asher.
TOKYO OKA/TOK OPM 1200是一種用於開發光掩模的蝕刻器/asher。它是一種無酸高壓設備,可以為各種蝕刻和灰化應用提供額外的速度和精度。TOK OPM 1200采用多處理器控制系統,可實現多軸蝕刻層間。該單元的設計目的是通過減少蝕刻步驟數、減少過程間的停機時間和減少基板的處理來節省時間和提高產品產量。TOKYO OKA OPM 1200單用負載能力大,非常適合大批量生產和量產生產線。該機器可用於蝕刻尺寸不超過12英寸(300毫米)的聚酰亞胺、玻璃、矽等基材,並能以每分鐘0.4至3.0英寸(每分鐘1.0 μ米至8.0 μ米)的速率蝕刻各種厚度的目標材料。該工具具有先進的數字處理器和PLC控制資產,以及8軸受電弓X-Y-Z-θ-θ旋轉軸運動模型,允許精確且可重復的蝕刻模式。OPM 1200具有獲得專利的控制設備,該設備使用四個計時器電路和一個伺服電動機來精確控制蝕刻速率、角度、深度和層間重叠。這樣可以確保均勻性和準確性,同時最大限度地減少不正確的蝕刻深度和層過渡。該系統還可以配置可選的光學檢查單元,以提高可靠性。可調壓力允許高速但低壓(最大17.5 kgf/cm2)蝕刻,高能效設計最大限度地減少了化學品的使用和整體環境影響。該機還具有防止形成腐蝕性和危險氣氛的安全外殼,密封的微凈過濾器易於維護。無交流設計大大降低了觸電風險,內置的緊急停止按鈕等安全措施保護操作員免受傷害。因此,TOKYO OKA/TOK OPM 1200為各種材料和產品應用提供了安全高效的蝕刻和灰化解決方案。
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