二手 TOKYO OKA / TOK OPM A 1200 #162892 待售

TOKYO OKA/TOK OPM A 1200是一款等離子體蝕刻器，由東京Ohka Kogyo株式會社制造。（TOK）.它是為金屬薄膜和晶圓的選擇性蝕刻而設計的，具有可重復的低擁有成本。這種蝕刻器基於磁控管濺射過程，利用高能電場產生離子，隨後向要蝕刻的底物加速。TOK OPM A 1200具有一個24英寸的濺射室，具有精確和自動化的屏蔽模式控制，完全真空密封它具有對蝕刻過程的精確和自動化控制，包括射頻功率、屏蔽、速率和屏蔽模式。該軟件包括多種功能,如參數優化、數據監視和日誌記錄以及回放存儲。該設備還支持從GDSII、Gerber或位圖數據格式進行全光刻蝕刻。TOKYO OKA OPM A 1200蝕刻器具有超高的吞吐量，允許快速周轉時間和低成本蝕刻。它具有用於精確掩模對準的自動對準系統,以及使工藝溫度保持在可接受範圍內的多區冷卻單元。此外，它還有一個自動晶圓加熱和冷卻過程，這有助於保持金屬薄膜蝕刻過程中的均勻性。OPM A 1200是一款高效蝕刻機，具有廣泛的特性和功能。它對蝕刻工藝的精確、自動化控制，以及經濟高效的設計，使得它成為可靠、精確的薄金屬蝕刻的絕佳選擇。TOKYO OKA/TOK OPM A 1200以其高吞吐量和卓越的精確度，是一致、精確的薄金屬蝕刻的理想選擇。