二手 TOKYO OKA / TOK OPM2001CN #9055154 待售

TOKYO OKA/TOK OPM2001CN是為微電子工業中的多種應用而設計的蝕刻器/asher。它是一種半自動設備，由真空處理室和控制系統組成。真空處理室包含四個加熱區和兩個冷卻區，並包含一個蝕刻和灰化室，用於處理直徑達8英寸的晶片和基板。控制單元包括一個可編程邏輯控制器和一個操作員接口面板.該蝕刻器根據正在加工的材料使用氮氣、氙氣和氧氣。蝕刻和灰化室的溫度可在20至300攝氏度之間調節，蝕刻氣體在100至500 sccm之間。腔室的溫度和壓力可以通過機器中的各種傳感器進行監控，確保最佳的加工條件。晶片和基板在真空處理室門關閉前加載到工具的裝載站。門在蝕刻開始之前用真空泵密封。蝕刻和灰化室內的腔室內部溫度由PLC監控，允許優化蝕刻速率和產品質量。當蝕刻過程完成時，真空泵被關閉，允許晶片和基板安全地從資產中卸載。真空泵必須關閉，以確保腔室加壓，不會有有毒物質釋放到工作環境中。排氣水平由內置傳感器和系統監控。如果排氣水平超過預先指定的限制，模型將提醒操作員。TOK OPM2001CN是一種可靠、高效的工具,適用於需要對多種材料進行高質量蝕刻和灰化處理的公司。設備配備了若幹安全功能，確保系統安全運行，有毒物質不會釋放到工作環境中。用戶友好的操作員界面允許對蝕刻和灰化過程進行快速準確的調整，從而實現快速高效的處理。