二手 TOKYO OKA / TOK TCA-2400 #9396127 待售

TOKYO OKA/TOK TCA-2400是為工業應用而設計的蝕刻和灰化設備。該系統具有化學和幹灰處理能力，可以加工各種材料，從標準敏感劑到晶圓等產品。該單元包括一個300毫米晶圓支撐盒、一個24槽晶圓盒和一個可以將晶圓移動到所需位置的直線級。雙區電阻爐既能進行熱處理，又能進行化學灰化反應。它具有高溫控制和可重復性,加熱速率可調.TOK TCA-2400利用了一種氣體混合機，可以快速調整過程氣體，同時提供準確精確的過程參數。TOKYO OKA TCA-2400的溫度範圍介於環境溫度至2400°C之間,可重復且可靠的工藝結果,從而達到1 µm的特征尺寸。它利用包括充氣和減壓氣的氣體混合工具對加工氣體進行精確調節，以確保準確的結果。資產還包括壓力和溫度監測等幾個安全特征，以保護操作員和周圍環境。TCA-2400由耐用不銹鋼制成，具有高度絕緣的結構，具有優異的熱性能。它是專為優質生產而設計的，減少了材料消耗。其用戶友好的液晶控制面板和自動自校準功能，讓操作簡單高效。此外，該模型還配備了遠程自我診斷能力和通信能力，以便對進程進行遠程監測和控制。總體而言,TOKYO OKA/TOK TCA-2400是一種用途廣泛且可靠的蝕刻/灰化設備,可為需要精確度和準確性的應用提供卓越的性能。該系統可靠性高，易於操作和維護，提供卓越的過程重復性和可靠性。它非常適合廣泛的工業應用，可以加工多種材料，結果可靠。