二手 TOKYO OKA / TOK TCA 3400 #9181768 待售

TOKYO OKA/TOK TCA 3400是一種蝕刻/asher設備，為各種應用提供高質量的蝕刻、粉刷和清洗工藝。通過使用高速、精密的設備，以及先進的工藝控制，它產生了卓越的性能和可靠性。此蝕刻器/asher系統旨在提高性能、降低成本和提高工藝產量。該蝕刻器/asher具有高度先進的精密噴霧工藝,采用直接噴霧或扇形氣體密封罩設計。該單元的設計目的是提供金屬和非金屬材料的均勻、高質量的蝕刻。該工藝易於調整，便於各種形狀、材料和尺寸的蝕刻。風扇式氣體密封功能還有助於減少氣體使用量和能耗，並消除廢物。此外,TOK TCA 3400還提供了先進的自我校準功能,以提高效率。此功能自動維護工藝參數,確保一致和質量的蝕刻和清洗結果。流程參數也可以通過TOKYO OKA TCA-3400用戶界面進行管理。該機器包括一個自動清洗過程，這確保了一個一致的清潔室和設備。它使用旋轉、動力輔助的刷子和過濾真空工具，以盡量減少碎片。此資產可以設置為以手動或自動模式執行清潔過程運行。腔室還配備了自動晶片加載模型，確保晶片的高效自動加載。TOKYO OKA/TOK TCA-3400還具有廣泛的選項,允許用戶自定義其蝕刻和清潔過程。各種腔室修改，如集成離子蝕刻和濺射蝕刻的腔室，可以很容易地完成。此外，設備還可以容納各種工藝參數，如氣體混合、晶圓形狀、晶圓尺寸、氣體類型和基材類型。總體而言，TOKYO OKA TCA 3400是一款先進的蝕刻/asher系統，提供卓越的蝕刻和清潔性能。它易於使用、高度可配置並提供一致的結果。TOK TCA-3400具有先進的功能和廣泛的選項,是任何蝕刻和清潔要求的理想選擇。