二手 TOKYO OKA / TOK TCA 3822 #293752267 待售

TOKYO OKA/TOK TCA 3822是一種為微加工應用而設計的自動等離子蝕刻設備。該系統與公司的AsherLAB過程控制軟件集成,並在高度可重復、受控的過程中提供精確的蝕刻。該設備配備了500毫米機器人基表,可實現快速、準確和經濟高效的流程,而無需手動放置產品。機器的高級實時過程控制包括TOK TCA 3822的高級操作軟件AsherLAB軟件包。這種最先進的過程控制軟件允許在蝕刻過程中進行精確的配方開發、過程優化和故障排除。TOKYO OKA TCA 3822蝕刻器利用上、下電極，有助於縮短加工時間，提高蝕刻精度。該蝕刻器的設計與大多數標準打印、蝕刻和成像技術兼容。此外，該工具創新的基板傳感技術提供了電極在基板上的實時對準，允許對專用幾何形狀進行精確蝕刻。TCA 3822資產先進的腔室技術提供了對低汙染水平高性能材料的可靠蝕刻。蝕刻型號還與大多數射頻發電機兼容，以提高蝕刻速度和蝕刻深度。此外，設備的特殊通風系統去除未使用的等離子體，以保持工作室在盡可能低的壓力。為了確保重復、精確的蝕刻，TOKYO OKA/TOK TCA 3822蝕刻裝置采用了先進的控制技術。其嚴密的循環控制有助於減少蝕刻時間，同時其批量控制模式簡化操作。為提高可重復性，該機提供精確的熱分布和壓力控制，允許對腔室環境進行精確的控制。TOK TCA 3822蝕刻器具有卓越的精度、可重復性和成本效益。蝕刻工具可用於廣泛的應用，從通用蝕刻到具有挑戰性的靜電裝配項目。蝕刻資產能夠實現超細蝕刻效果，使其成為精密制造的強大力量。