二手 TOKYO OKA / TOK TCA 7822S #9239620 待售

TOKYO OKA / TOK TCA 7822S
ID: 9239620
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
Asher, 8" 1998 vintage.
TOKYO OKA/TOK TCA 7822S是由東京岡本株式會社開發的蝕刻/asher。該7822S是一種用於生產半導體器件的低溫、高精度、單面蝕刻器/asher。此蝕刻器/灰化器用於清洗、剝離和蝕刻晶片和蒙版的表面。TOK TCA 7822S是一種旋轉溫度控制的四室蝕刻器/灰化器。它使用廣泛的材料,包括氧化膜、聚合物、氮化矽膜、玻璃和金屬。蝕刻器/asher采用的技術可實現400˚C的精確溫度控制,並支持使用高達1 bar的低壓。7822S正面有晶片卡帶裝載設備和可編程穿梭系統,用於卡帶晶片裝卸。蝕刻器/灰化器設計有四個獨立的氣流室。分別是:上加熱室(UHC)、下加熱室(LHC)、AnnULAR加熱室(AHC)和未加熱室(UHC)。該7822S采用先進的加熱技術,自動調整各個腔室的溫度。可以通過輸入每個腔室的特定度數來調整各自腔室中使用的溫度設置。TOKYO OKA TCA 7822S還包括一個觸摸面板前面板,便於操作與圖形用戶界面。該7822S可采用各種蝕刻速率、蝕刻深度和蝕刻速度公式進行編程,非常適合滿足所有行業的蝕刻需求。蝕刻器/asher采用64位高速處理器和多個接口設計,可實現快速、準確的數據交換。該7822S還包括一個真空旋轉濺射裝置(VRS)來沈積高導電膜如氧化鋁或其他絕緣材料。該7822S能夠蝕刻各種材料,包括金屬、聚合物和氮化矽。TCA 7822S是生產半導體器件的完美蝕刻器/灰化器。這款蝕刻機/asher以其精確的溫度控制、可編程的穿梭機、集成的觸摸面板和多種配方滿足了各種行業的廣泛蝕刻需求。這種先進的蝕刻/ashers技術在每次蝕刻輸出時都能提供一致和可靠的結果。
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