二手 TOKYO OKA / TOK TCE-3822 #293766670 待售

TOKYO OKA/TOK TCE-3822是一款蝕刻器/asher,具有高功率和可靠的性能,非常適合要求最苛刻的應用程序。它配備了高精度的控制設備，允許精確操作。TOK TCE-3822具有更強的吞吐量,能夠蝕刻/灰化多達20,000個晶圓/小時,並且還裝有,其特點包括用於快速準確開發化學和機械敏感材料的分體式塗層/顯影劑。TOKYO OKA TCE 3822具有精確的結構設計,按照精確的公差設計以實現精確的對齊。其創新的工程和質量允許卓越的熱量和零件損壞控制在蝕刻/灰化過程。這些設計產生更統一的零件蝕刻/灰度處理,並在自動化和工程過程中提供更大的靈活性。TOKYO OKA TCE-3822縮短了周期時間，包括在蝕刻時間和灰度時間之間調整加工時間。它還提供了先進的控制系統，允許密切監測蝕刻和灰度循環。圖形用戶幹擾（GUI）允許用戶快速輕松地設置其蝕刻/灰化過程,並提供有用的幫助菜單,幫助用戶進行蝕刻/灰化操作。它還提供各種保護功能,包括防止蝕刻/灰化過程誤操作的安全鎖定。TCE-3822的蝕刻室是一種防反射塗層石英蝕刻室，用於均勻蝕刻/無蝕刻偏差的灰化。它還具有較高的蝕刻速率，即使在較高的功率水平，並且與許多流體兼容，用於更廣泛的應用。該腔室的設計目的是有效地排出氣體過程，並帶走廢氣。它的兩級排氣和回泵單元允許快速流量調整，以改變過程壓力條件和幾個配方可以保存以後使用。TCE 3822是一款可靠、準確的蝕刻器/asher,具有一系列功能,即使是要求最苛刻的應用程序也能處理。其強大的設計和集成的控制機使其成為蝕刻和灰化的理想選擇，其用戶友好的界面確保了方便的操作。TOKYO OKA/TOK TCE 3822具有先進的功能,是任何蝕刻/灰化應用的理想選擇。