二手 TOKYO OKA / TOK TCE-7822 #293625343 待售

TOKYO OKA/TOK TCE-7822是一款高性能的蝕刻器/asher,專為在一系列應用程序環境中提供卓越的性能和可靠性而設計。該裝置非常適合中高批量生產的蝕刻和灰化工藝，包括在實驗室和工業環境中。該設備包括一個功能強大的蝕刻器/asher柱，其高度可調，可實現最佳工藝控制。此列安裝在實心床支撐上,該支撐還提供用於監視蝕刻時間的旋轉索引。柱子由步進電機控制，可以精確調整蝕刻時間、溫度和壓力。該系統還包括一個高容量真空儲罐，用於有效回收蝕刻和灰化殘留物。TOK TCE-7822的設計允許許多高級蝕刻和灰化過程。該單元能夠處理多種基材，可以適應多種蝕刻形狀，包括溝槽、通過蝕刻、接觸孔、長寬比（AR）蝕刻和窗口蝕刻。蝕刻窗的大小可以從0.1um到200 µm不等。為了優化蝕刻精度，可以對機器進行調整，將可變各向異性蝕刻時間和可變蝕刻深度（DOE）結合在一起。TOKYO OKA TCE-7822與多種氣體和試劑兼容，可用於多種工藝。蝕刻氣體包括氧氣、氮氣和氙氣。當與其中一種氣體結合使用時，該工具可用於濕蝕刻或幹蝕刻。試劑可用於選擇性蝕刻和平面化過程。最後，該資產還可用於快速熱退火。TCE-7822還包括在要求苛刻的環境中實現可靠性和準確性的高級過程控制功能。該模型包括多氣體替代控制，允許精確的流量控制和多氣體輸入。該設備還具有真空控制功能，有助於優化工藝壓力和均勻性。此功能還有助於確保快速蝕刻速率、最小重新沈積和減少蝕刻殘留物。綜上所述，TOKYO OKA/TOK TCE-7822是一種可靠且功能強大的蝕刻器/asher，能夠進行各種蝕刻和研磨工藝。該系統可以加工各種底物，加工尺寸範圍大的蝕刻窗，並容納多種氣體和試劑。該裝置具有先進的工藝控制特性，如多氣體替代控制和真空控制，以提高蝕刻精度和可靠性。