二手 TRIKON / AVIZA Celsior #182678 待售

TRIKON/AVIZA Celsior是一種蝕刻器和asher，使用基於化學的蝕刻和ashing工藝來創建納米級器件。AVIZA Celsior是一種全自動儀器，允許選擇各種蝕刻化學和工藝參數。TRIKON Celsior具有完全計算機化的設備,可控制溫度、壓力、溫度梯度和蝕刻溶液組成等參數。此外,Celsior還提供針對蝕刻速率、吞吐量和蝕刻質量的精確控制。TRIKON/AVIZA Celsior采用化學蒸氣蝕刻（CVE）工藝，能夠實現高蝕刻速率，對蝕刻速率和地形進行非常精確的控制。這個過程，加上AVIZA Celsior的高分辨率蝕刻模式能力，允許納米級的過程。TRIKON Celsior還提供獨特的真空輔助沈積工藝，允許多種沈積選擇。攝氏度能夠蝕刻和洗滌各種材料，包括金屬、合金、氧化物和陶瓷，以及晶圓和模具等制造樣品。系統中的晶圓尺寸為125mm，最小特征尺寸為10nm。TRIKON/AVIZA Celsior還提供三種蝕刻模式：選擇性蝕刻、全蝕刻和/或毯子蝕刻。AVIZA Celsior還設有一個完全集成的實驗室支持單元，以幫助確保最高質量的蝕刻和灰化工藝。此機器支持樣品裝卸、自動化過程控制、配方創建和管理、圖案化層蝕刻、後處理和報告生成。該工具還提供配方創建和管理、示例運行調度以及具有內置圖形顯示和報告功能的自動數據日誌記錄。該資產提供了可選的自動光學檢查模型,以支持對蝕刻和灰化樣品進行自動像素評估。TRIKON Celsior是高性能納米材料和工藝研究人員和開發者的理想解決方案。Celsior結合了高蝕刻速率、精密控制和自動化處理，可用於生產多種質量最高的結構、圖案和元件。TRIKON/AVIZA Celsior是那些尋求高精度蝕刻和灰化解決方案的人的理想選擇。