二手 TRIKON / AVIZA Celsior #293652303 待售
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TRIKON/AVIZA Celsior是一款由AVIZA品牌開發的先進蝕刻/asher設備。該蝕刻器/灰化器具有氣動控制的電容耦合腔室，該腔室針對均勻的蝕刻性能進行了優化。它使用多種材料,能夠高速度蝕刻。該系統配備了一個或兩個掩碼對齊器,可針對特定的客戶需求提供最大的靈活性。該腔室采用不銹鋼結構,操作可靠,維護方便.AVIZA Celsior Unit針對電子材料的蝕刻和灰化進行了優化。該機器的設計提供了卓越的可重復性和均勻性。它能夠對廣域基板進行蝕刻，覆蓋範圍全面，效果一致。該工具旨在處理各種材料,包括鋁、聚酰亞胺、TiN、Polaymide等。它還可以處理從2「到8」的各種晶圓尺寸。TRIKON CELSIOR資產具有較高的蝕刻/灰分速率吞吐量和卓越的均勻性、清潔度和可重復性。它可以容納各種來源和氣體，並能很好地控制蝕刻速率和均勻性。該型號配備了AutoSelectTM,使操作員只需一個按鈕即可控制蝕刻/灰分過程。該設備還具有AutoMasks TM,允許在一個步驟中蝕刻多層。Celsior System具有多種功能和選項,包括用於裝載/卸載基板和晶片盒的多級自動填充、用於附加基板固定器的多托盤壓板單元、真空室吹掃機、匹配的阻抗可熱射頻線圈以及各種氣體控制選項。該工具旨在通過可編程的熱控制以及等離子體和反應物氣體的自動流動控制，提供精確的溫度控制和均勻性。該資產為用戶提供了更靈活的腔室編程和氣體控制，使其非常適合蝕刻和灰化各種基材材料。此外，TRIKON/AVIZA Celsior還配備了各種安全功能，例如能夠提供視覺和聽覺警告的警報模型，降低操作員的安全風險。該設備還包括基於計算機的反應性氣體監測系統，無需操作員手動檢查氣體水平。總而言之,AVIZA Celsior是一個先進的蝕刻器/asher單元,旨在提供統一的結果、高吞吐量、可靠的操作和卓越的靈活性,以便對各種材料進行灰化和蝕刻。通過其多用途的功能，這臺機器為用戶提供了對蝕刻/灰燼工藝的終極控制，讓他們在更短的時間內獲得最大的效果。
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