二手 TRIKON / AVIZA Celsior #293665944 待售

TRIKON/AVIZA Celsior是一種專業的全場、高分辨率晶圓蝕刻器/asher，用於在半導體制造過程中蝕刻、沈積、剝離和清潔寬幅基板。它是一種高度可靠、全自動且經濟高效的生產工具。AVIZA Celsior Etcher/asher具有多項先進技術，包括自動交換系統（AES）和遠程等離子體源（RPS）。AES提供了實時質量控制和快速提供工藝配方的好處。RPS是反應性等離子體的模塊化來源，允許對基板的所有部分進行均勻蝕刻。此外,該機器還配備了先進的動態熱控制（DTC）系統,可確保在該過程的任何階段都能實現穩定的蝕刻和沈積過程。此外，TRIKON Celsior能夠運行廣泛的工藝配方，以達到不同的結果。其中包括矽、石英、氧化鋁、TiN等蝕刻基板。它還具有沈積各種材料的能力，包括金屬、聚酰亞胺、SiO2、SiN等等。此外，Celsior采用專用工具清潔和拋光基板，以及控制和監測腔室條件。軟件包具有自動維護和診斷、密碼保護、實時參數日誌記錄、粒子跟蹤等功能。TRIKON/AVIZA Celsior Etcher/Asher設計用於具有嚴格安全協議的清潔環境。它易於操作和維護，確保了最佳數量的基材得到高效和優質的加工。蝕刻器/asher還設計用於並行處理功能,使其成為大批量生產線的理想選擇。綜上所述，AVIZA Celsior是一種用途廣泛、功能齊全的蝕刻器/asher，設計用於執行廣泛的蝕刻和沈積過程列表。其先進的自動化技術和監控系統確保了高效、均勻的運行，基材質量優越，提供可靠、經濟高效的芯片制造。