二手 TRIKON / AVIZA Celsior #9226879 待售

TRIKON/AVIZA Celsior是一款先進的精密蝕刻器和asher設備,旨在提供極高精度的圖樣和處理。該系統經過優化,可獲得最小的特征尺寸以及最精確的圖樣和灰度處理結果,從而使微電子專業人員能夠在其半導體基板上開發出微小的特征。該設備設計用於清潔、即時和準確的處理,以確保電子設備的最佳性能。AVIZA Celsior具有低功率要求、低成本操作和多用途ashing功能,允許用戶從各種化學來源和粉末制備技術中進行選擇。TRIKON Celsior利用一種新型的合金兼容蝕刻室，能夠生產合金甚至多膜的無關節蝕刻。此外，蝕刻室還配備了集成真空輔助回流裝置，以確保適當的熔融和沈積金屬的均勻混合。該機能夠對小至8mm的基板進行精密蝕刻和粉刷，對於較小的特征尺寸可提供高精度。此外，攝氏度能夠處理尺寸不等於32毫米的基板。在精密蝕刻和ashing吞吐量方面，機器最多有十個蝕刻和ashing階段，每個步驟的時間可變。該工具還包括在線監控流程參數、自動結束運行協議、自動反饋參數、各種掩碼類型、增強的晶圓機械處理等功能。為確保用戶的最佳安全,TRIKON/AVIZA Celsior的設計采用氣閘互鎖資產,並包括特定於流程的安全防護裝置。AVIZA Celsior是在設備制造過程中生產微小而緊密的圖樣層的理想工具。對於任何需要精確和可靠且停機時間最短的實驗室或生產環境,這是一個完美的選擇。低功率要求和高精度使其成為加工各種微電子基板的經濟高效的選擇。