二手 TRIKON / AVIZA FxP #9135551 待售

TRIKON/AVIZA FxP是用於制造半導體器件的高級蝕刻器（或asher）。它是一種通用、經濟高效且自動化的工具,適用於前端和後端處理。該設備配備了自動化的過程控制算法，提供直觀的用戶界面和對蝕刻過程的精確控制。設備的圖形用戶界面使操作員能夠輸入各種蝕刻參數，如時間、功率、壓力和流量。此外,該軟件允許多種配方設置,並可以靈活地根據需要對其進行修改。硬件采用6軸機械臂，在蝕刻過程中移動晶圓級和掩蔽頭。這提供了對蝕刻參數的精確控制,並允許對圖樣化和非圖樣化基板表面進行均勻蝕刻。AVIZA FxP提供高級工藝能力,如同時多晶蝕刻。它還提供了高速率的蝕刻吞吐量，提高生產效率和降低成本。該設備配備了多目標蝕刻室,使多個晶片能夠在單個工藝周期中進行處理。該腔室可同時蝕刻不同的時間、壓力和電壓，並消除了將晶片轉移到不同腔室的必要性。TRIKON FxP除了提供精確的蝕刻控制和優化的性能外，使用起來極為安全。它配備了一系列操作特性和安全特性，以保護用戶和晶片，保證方便、安全和可靠的使用。這些功能包括內置診斷、可調安全報警和氣流關閉功能。FxP的創新設計還通過將潛在危險的氣體分配組件封裝在密封散熱器內，在蝕刻過程中提供最大的操作員安全。TRIKON/AVIZA FxP是蝕刻晶圓精確圖樣和特征的絕佳設備。它提供精確的過程控制、高吞吐量、用戶友好和自動化的操作以及高級安全功能。總之，AVIZA FxP是滿足當今不斷發展的半導體器件制造要求的完美蝕刻器。