二手 TRIKON / AVIZA Omega  FxP #293799540 待售

TRIKON/AVIZA Omega FxP是在半導體工業中專門為精密蝕刻和灰化而設計的先進蝕刻器/灰化器。它配備了先進的自動化流體控制設備,允許優化處理時間和縮短循環時間。該機可用於光刻、金屬化、MEMS、光伏和半導體器件制造中使用的其他材料的高級蝕刻灰。該機在設計上獨具特色，具有開放式框架結構、光學視窗和便於檢修操作的方便室。該機結合了高效真空系統、精密氣體輸送單元和強大的加熱冷卻機，在蝕刻和灰化過程中提供出色的精密控制。這樣可以確保樣品的表面完全被選定的蝕刻劑覆蓋,並且不會以任何方式損壞。AVIZA Omega FxP還配備了先進的安全系統，如熱壓電池和氣體監測傳感器，用於檢測危險情況並在緊急情況下關閉該工具。這樣可以確保用戶在蝕刻器/asher中工作時的最佳工作條件。該機器的瞄準精度高達1 µm，可在-65°C至500 °C的溫度下操作。它能夠處理尺寸達200毫米的基板，並支持CF4、O2、SF6和Ar等各種工藝氣體。對於蝕刻或灰化,TRIKON Omega FxP還具有獨特的雙模離子源,可在一個資產中提供單步和多步蝕刻。這允許在樣品表面上具有高度的精確度和均勻的蝕刻/灰分圖案。機器的所有部件質量優良，保證了最可靠、最精確的蝕刻和灰化工藝。Omega FxP是一種全自動工具,允許快速設置和快速循環時間。這使得該模型成為半導體器件制造中任何先進蝕刻灰工藝的絕佳選擇。