二手 TRIKON / ELECTROTECH Omega II #293668338 待售

TRIKON/ELECTOTECH Omega II是為基材制備領域的各種應用而設計的蝕刻和灰化設備。該設備具有可編程控制功能,允許自動選擇和復雜的配方,用於高端光刻應用程序所需的一系列蝕刻和灰化過程。它的最大蝕刻速率為40微米/分鐘，最大灰度速率為80微米/分鐘，溫度範圍為35至70攝氏度。此功能限制在蝕刻或灰化過程中產生的危險殘留物的釋放。該設備有一個冷卻系統，有助於降低蝕刻或灰化產品的溫度。除了蝕刻和灰化工藝外,ELECTROTECH Omega II還具有集成晶圓處理單元。這使用戶能夠對可根據所需過程暫停或加速的晶圓運動進行編程。晶圓處理機還便於自動加載晶圓，節省時間和人力。此外，該裝置還配備了溫度穩定工具、氣體系統、架空引擎蓋空間以及1級、Div 2級控制面板。溫度穩定資產有助於確保溫度範圍在整個蝕刻和灰化過程中保持在設定的範圍內。氣體系統有助於降低過程的可變性和吞吐量。Class 1, Div 2額定控制面板允許用戶監視與蝕刻和灰化過程相關的各種參數。Omega II的設計便於使用PVC/FDA批準的工藝氣體,包括CF4、CF2、O2、CHF3等。而且，該裝置可用於多種應用，包括化學機械平面化、掩模和晶圓清洗以及熱氧化物生長。總體而言,TRIKON/ELECTROTECH Omega II是一款用途廣泛的蝕刻和灰化設備,具有精確的控制和用戶友好的功能。其封閉式腔室和其他控制選項使其成為各種工藝應用的理想工具。它提供了廣泛的工藝選擇,並為可靠的長期性能而設計。