二手 TRIKON Planar 200 #293758858 待售

TRIKON Planar 200是為半導體制造中精確高效的微加工工藝而設計的尖端蝕刻/asher設備。此高級工具提供了廣泛的功能和功能,使其成為各種應用的理想解決方案,包括等離子體蝕刻、灰化和抗剝離。Planar 200以其創新的設計和卓越的性能,為過程控制、可靠性和生產率樹立了業界新的標準。TRIKON Planar 200配備了高功率射頻等離子體源，產生高度均勻的等離子體，以確保整個基板表面一致的蝕刻和灰化結果。這一等離子體源能夠輸送廣泛的工藝氣體，包括氧氣、氟氣和氯氣，使用戶能夠實現不同的蝕刻化學和選擇性剖面，以滿足其特定的工藝要求。此外，該系統還配備了先進的氣流控制機制和壓力調節系統，以確保對工藝參數的精確控制，並在整個蝕刻過程中保持穩定的等離子體環境。Planar 200的關鍵特性之一是其先進的晶圓處理單元，它為直徑達200 mm的基板提供高精度的定位和對準能力。這臺機器使用戶可以實現亞微米特征大小和最小邊緣效果的精確蝕刻和灰分模式,從而提高設備產量和性能。晶圓處理工具是完全自動化的,可以編程為執行復雜的流程序列,而用戶幹預最少,吞吐量最大化,停機時間最小化。TRIKON Planar 200還具有最先進的流程監控資產,能夠實時反饋和調整流程參數,以確保獲得最佳效果。該模型配備了先進的端點檢測機制、光發射光譜傳感器和原位等離子體診斷工具，實時監測蝕刻速率、選擇性、均勻性和其他關鍵過程參數。此反饋循環允許用戶即時微調其流程,優化流程配方,並以高可重復性和可靠性實現所需的蝕刻和灰分結果。除了先進的工藝控制能力外，Planar 200還采用了用戶友好的界面和軟件，簡化了設備的操作和維護。直觀的圖形用戶界面提供了輕松訪問流程配方、數據日誌記錄、系統診斷和故障排除工具，使用戶無需大量培訓或專業知識就能快速設置實驗、分析結果和優化流程參數。該單元還具有遠程監視和控制功能,使用戶能夠從遠程位置訪問計算機,並通過集中界面監督多個工具,以簡化操作並提高效率。總體而言,TRIKON Planar 200是一種用途廣泛且可靠的蝕刻器/asher工具,可為半導體及相關行業的各種微加工應用提供無與倫比的性能、精度和生產力。Planar 200以其先進的技術、先進的功能和用戶友好的設計,是研究人員、工藝工程師和制造專業人員尋求以高吞吐量、重復性和過程控制實現卓越蝕刻和灰分結果的理想解決方案。