二手 TRIKON Sigma 200 #9290660 待售

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TRIKON Sigma 200
已售出
ID: 9290660
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6".
TRIKON Sigma 200是為各種半導體制造工藝而設計的高性能蝕刻工具。設備配備了一個強大的氙氣閃光燈,可提供高達200 W的功率。系統還具有可變功率輸出、高分辨率運動控制、用戶可選擇的工藝配方等高級功能。Sigma 200先進的光學器件可確保每個運動階段的精確對準,而加工的鋁制框架可提高剛度和單元穩定性,並提供方便的工作空間來安裝樣品階段。TRIKON Sigma 200具有由先進的電機和編碼器控制機控制的各種級運動,確保了蝕刻時的高度精度和重復性。Sigma 200中強大的氙氣閃光燈提供了廣闊的照明區域,這對於增強蝕刻工藝至關重要。此外,該工具還具有高精度的運動控制資產和先進的溫度監測模型。這有助於確保在設定的溫度範圍內執行所有進程。TRIKON Sigma 200包含許多關鍵功能,使其非常適合各種半導體工藝。它配備了先進的光學透鏡、精心設計的反射器室和雙窗格窗口,有助於確保均勻的光強度分布。Sigma 200還具有最佳反射率和可調燈功率設置,讓用戶進一步微調蝕刻過程。此外,設備還配備了反射和擴散膜,防止元件照明和碎片堆積。TRIKON Sigma 200的高級軟件接口提供了對蝕刻過程的完全控制。它提供了設置、控制和監視諸如蝕刻深度、蝕刻面積、循環數、脈沖長度、脈沖能量和加載方向等過程的能力。此外,系統還具有強大的用戶配方,使用戶能夠保存和回憶各種算法和設置。總體而言,Sigma 200為各種半導體應用提供了最佳蝕刻解決方案。其先進的光學設備、強大的氙氣閃光燈和精確的控制系統使其非常適合半導體制造過程。其可自定義的功能和用戶友好的界面促進了高效和可靠的結果。
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