二手 TRIKON Sigma 200 #9293542 待售
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已售出
ID: 9293542
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
Sputtering system, 6"
Triple rack for RF Power supply
Turbo controller
Dealer controller
Main computer (CTC)
Data logger computer
AC Tray
Rack controller
Platen heater controller
RGA Controller
Operating system: FlexOS Version 3.01S
VCE (A & B):
Process: Wafers loaded, pumped and mapped prior
Vent gas: Nitrogen
Hot Sputter Etch (HSE):
Etch
Preheat module
Power (Coil and platen): 600 Watt
ADVANCED ENERGY RFX600 Generator (13.56 MHz)
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
50 SCCM MFC
300 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450 C
Gauge to control and monitor vacuum
Deposition chamber (TiN):
Deposit Ti and TiN
Platen RF bias power: 600 Watt
ADVANCED ENERGY RFX600 generator (13.56 MHz)
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
300 SCCM MFC
100 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450°C
Gauge to control and monitor vacuum
Deposition chamber (Al):
Deposit Al
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
300 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450°C
Gauge to control and monitor vacuum
Transport chamber (Dealer):
Turbo pump on board
Vent gas: Nitrogen
Metal wafer cassette
1990 vintage.
TRIKON Sigma 200是一款蝕刻器/asher，設計用於蝕刻鋼、黃銅和其他金屬等各種材料。適用於金屬加工、原型制作等需要極精確蝕刻或灰化的特殊工藝。該系統采用單容器蝕刻冷卻室和豎臂提升系統，方便物料處理。蝕刻室采用6毫米厚的不銹鋼制成，右側裝有一個50毫米高的觀賞窗和一個可移動的蓋板。蝕刻室內充填有氙氣、氫氣或其他惰性氣體。用數字高溫計監測溫度，可從室溫調節到1,000 °C。手臂提升系統手動操作，讓使用者以流暢準確的方式移動腔室內的物料。Sigma 200由0.4 kW電源電機供電。它具有一個自動過程計時器和用於讀出溫度、蝕刻時間和其他參數的數字顯示屏。它配備了一個自動溫度控制，以保持最佳的加工條件，以及為增加安全性的過溫保護。蝕刻室由安全開關固定,具有多種安全功能,如溫度和壓力的自動關閉保護。該處理器是為實現最佳效率而設計的。它配備了一個用於增強氣流的再生鼓風機，可以通過裝置側面的控制面板進行調節。這樣可以改善蝕刻效果。它還具有先進的熱模擬技術，可用於在不銹鋼和黃銅等材料上創建復雜的蝕刻圖樣或微蝕刻。總體而言,TRIKON Sigma 200是一款可靠且功能強大的蝕刻器、asher和處理器,非常適合用於需要精確蝕刻或灰化結果的各種應用程序。憑借其直觀的設計、可定制的設置和先進的安全功能,用戶可以輕松高效地創建高質量的產品。
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