二手 TRIKON Sigma 200 #9311777 待售

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ID: 9311777
晶圓大小: 8"
優質的: 1990
Sputtering system, 6" (2) Load locks: VCE A, VCE B Turbo pump, 8" Hot Sputter Etch (HSE) chamber (2) Deposition chambers: Ti / TiN, Al (2) PVD Chambers (3) Cryo compressors (8200 Type) Triple rack for RF power supply Turbo controller Dealer controller Main computer (CTC) Data logger computer AC Tray Rack controller Platen heater controller Half height rack for DC power supply Operating system: FlexOS Electrical cables Power box Cryolines Does not include: Mechanical pump RGA Controller.
TRIKON Sigma 200是為中型工藝開發而設計的高級蝕刻器/asher。它具有高精度的性能和激光光學性能,能夠進行精確的蝕刻和灰化,從而獲得最佳效果。由一個直觀的,易於使用的觸摸屏界面控制的六軸機器人機械手組成的設備。該系統具有堅固耐用的結構,可承受惡劣的條件,確保可靠的操作和準確性。Sigma 200提供了最先進的設計,能夠對玻璃、金屬、陶瓷和液晶聚合物等多種材料進行蝕刻和灰化。其燒蝕工藝采用多種激光器,包括紫外線、紅外和YAG。對稱腔室設計允許可重復的中等規模工藝具有極好的均勻性。其30 cm x 30 cm x 30 cm的腔室尺寸是完美的成型規模工藝開發。它為蝕刻和灰化提供了幹燥和潮濕的環境,能夠更好地控制材料和提高成功率。其動態溫帶控制使其即使在高速下也能表現出色。可以調整Sigma 200以使介電掩模的尺寸適應正在處理的設備,允許精確蝕刻0.05至5.00 mm的特征尺寸。高精度反射鏡單元在提供每個工藝步驟所需光子的精確數量的同時,還提供了卓越的工藝參數可重復性。它的3D圖像掃描儀和對準系統使對準和對準精度提高到0.5 m。該機器還配備了一臺清除碎屑的機器,可防止產品在加工步驟中堆積顆粒,從而確保最優質的最終產品。TRIKON Sigma 200還有一個高端安全工具,包括安全自動關閉、緊急停止開關、互鎖資產和排氣罩。Sigma 200的最大處理速度為20 cm/min,非常適合中等規模的工藝。它也有先進的thermo-flood和thermo-reflux方法,可用於在短短2分鐘內創建均勻的結構。TRIKON Sigma 200具有直觀的觸摸屏界面,易於使用,提供了最高的準確性和可重復性,確保了可靠處理的結果。憑借其高精度性能、石英金剛石塗層激光光學、高端安全模型,Sigma 200是進行中等規模蝕刻和灰化工藝的理想選擇。
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