二手 TRIKON Sigma FxP #9221542 待售
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已售出
ID: 9221542
晶圓大小: 8"
Sputtering system, 8"
Includes robot
Hot sputter etch chamber: Station 2 (DepE-HSE)
Spares parts:
(1) Pack of 6 Lamp pack: 1000 W
(2) Generic dep platen caps, 8"
(2) Rev B extended anode rings
(2) Assembly solid chamber shields
(2) Extended shutter slot shields
(2) Platen shields, 8"
(2) Back sputter shields, 8"
Two load locks:
Station 1: VCEA
Station 8: VCEB
(3) Deposition chambers:
Station 3 (DepC- HU platen aluminium)
Station 4 (DepB - HiFill TTN)
Station 5 (DepA - HiFill TTN)
Pre heat chamber: Station 7
Orienter: Station 9 (In front of VCEA)
Top cooler for cooling wafers: Station 10 (In front of VCEB)
(2) Cryo compressors 9600
Transport chamber
MX800 Upgraded to GTM
CTC Upgraded to Win7
Process modules controller (PC104) upgraded
Process modules:
DepA
DepB
DepC and DepE
Pump down: Dry roughing pump and blower
DC Power supplies: Single and double rack
Turbo controller
Main computer
Main AC
RF / DC Power supplies
Chamber AC control
Heat exchanger
Temperature set point: 20°C
Resistivity set point: >50 k Ohm
Recirculating flow: 20 gpm
Recirculating pressure: 22 psi.
TRIKON Sigma FxP是一整套精密工藝工具，設計用於在超清潔環境中對聚酰亞胺和其他基材進行破土蝕刻、灰化和固化。該設備為包括聚酰亞胺和矽在內的任何基材的精細蝕刻、蝕刻和灰化提供了可靠和可擴展的結果。該系統旨在通過先進的自動化和精確的車載控制和監控提供可靠和可重復的蝕刻、灰化和固化。Sigma FxP采用模塊化平臺設計,可提供高靈活性和功能可擴展性。它具有一個高端的全自動平臺,可以針對每一個特定的應用程序或基板進行定制,從而可以對所有蝕刻和灰化參數進行精確的微調。這種堅固的工藝工具提供了原位工藝控制、出色的蝕刻和灰化率以及極低水平的殘留物。蝕刻和灰化過程由單或多氣體發生器模塊啟用，最大流量為25 sccm，最小氣體壓力為2 psig。這種先進的裝置能夠監測準確的氣體成分，以便更好地進行蝕刻和灰化控制和再現性。此外，機器可以用用戶定義的配方進行編程，可以隨時召回，以最大的重復性重復過程。集成的Advanced Control模塊監視流程參數,並提供直觀的用戶界面,包括直觀的圖形顯示和可提供實時流程信息的多個視圖。該工具還提供板載診斷資產,用於監控關鍵參數以實現最佳流程性能和維護,並提供模型警報以及時采取行動。TRIKON Sigma FxP設備還提供了自動感應模式，允許用戶在蝕刻或灰化條件不佳的情況下切換到不同的蝕刻或灰化氣體。這種模式使得系統具有高度的通用性，允許蝕刻和灰化復雜的基板，而無需任何手動參數調整。該股還提供綜合流程改進工具和選項，如電子簽名捕獲和審計跟蹤能力，以幫助確保流程條件的最佳和詳細記錄。這些工具有助於最大限度地提高最終產品質量。
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