二手 TRION 2340 #9058313 待售

ID: 9058313
優質的: 2002
Deposition system 115 V, 60 Hz, 6.3 A 2002 vintage.
TRION 2340是一個蝕刻器/asher,設計提供優於傳統蝕刻器的蝕刻和ashing結果。這種工具特別適合於許多類型的材料的模具附著和鈍化,如聚酰亞胺、半導體、光掩模和其他有機金屬層。2340具有雙區域設計,可提供精確控制和統一微蝕刻速率的高效蝕刻和ashing循環。上腔配有加熱的高壓偏置天線,有助於集中等離子體,確保基板上的均勻性。下腔的設計目的是有效去除底物表面的汙染物,並為聚酰亞胺和其他復雜有機物提供化學灰化。TRION 2340具有先進的控制系統,使操作員能夠監視和微調蝕刻和灰度循環。可以調整電源以進行積極的蝕刻和灰化,以確保最高程度的材料去除。溫度和氣流也可調節,以幫助控制蝕刻或灰化特征的數量和大小。2340技術的設計使得它能夠在真空和惰性大氣中操作。這有助於對整個蝕刻/灰化循環進行嚴格控制,並提高基板的均勻性。此外,設計還包括優化的等離子體源特性,以減少粒子生成和提高過程穩定性。TRION 2340配備了觸摸屏數字顯示屏,為操作員提供了蝕刻或灰度處理的全面視圖。此顯示器允許用戶根據工藝要求輕松管理、監控和調整氣流、溫度和電壓等參數。所提供的信息包括蝕刻輪廓和工藝設置信息,以便於跟蹤和控制蝕刻和灰化工藝。2340是一個令人難以置信的可靠和高效的蝕刻器/asher。其先進的設計、精密的控制系統和全面的數字顯示使其成為各種不同材料的蝕刻和灰化工藝的理想選擇。
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