二手 TRION Minilock II #9389392 待售
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ID: 9389392
Reactive Ion Etcher (RIE)
ADVANCE ENERGY RFX 600A RF Plasma generator
MKS 153 Control valve
VAT 02110-BH24-0001/0039 Rectangular gate valve
Gas cabinet
Load lock
(6) UNIT INSTRUMENTS Mass flow controller:
(4) UFC-1800 (Gases: N2, (2) 100cc, and (2) 250cc)
(2) UFC-1660 (100cc BCl3, and 100cc CL2).
TRION Minilock II是在半導體、微電子和電子工業中高精度蝕刻和灰化應用的先進蝕刻器/灰化器理想。利用三級選擇性強制空氣蝕刻技術，確保精確、可重復的蝕刻/灰燼深度控制。蝕刻表面和灰度表面均具有均勻的特性,可提供更高程度的可重復性。該設備由一個高性能的金屬加固外殼和一個集成風扇單元組成，以提供有效的散熱，並最大限度地減少蝕刻和灰化材料的熱分解。根據正在執行的過程,蝕刻器/Asher可以配備多個內部選項,例如寒板、網狀過濾器、冷卻液罐和清除蓋。它還包括一個內置溫度調節功能的微處理器控制器，允許用戶從幾個預先設定的溫度點中選擇不同類型的蝕刻和燃燒。集成到蝕刻器/asher中的溫度傳感器還可以對熱過程進行實時監控。該系統具有自動溫度恢復功能,可幫助在整個蝕刻/燃燒過程中保持溫度均勻。此功能可用於減少介質的回火,從而在不過度蝕刻或過度燃燒的情況下獲得更好的效果。該單元還包括一個集成計時器機器，可用於各種蝕刻和ashing循環，並允許用戶為每個循環設置特定的開始和停止時間。這確保了對蝕刻/燒制過程的精確控制。該工具還配備了一個原位氣流調節器，該調節器可保持均勻蝕刻/燃燒的最佳氣壓。這有助於減少氣體過壓可能造成的損害。資產還可以配備遠程控制模型，允許用戶從遠程位置啟動、停止和控制蝕刻/灰燼過程。它具有強大的安全功能,如緊急電源關閉按鈕、過熱傳感器、鎖存式電磁閥以及所有安全聯鎖裝置。Minilock II提供高精度和精密的蝕刻/燒制，是商業和工業應用的完美蝕刻器/asher。其金屬增強外殼、原位氣流調節器、熱調節、集成計時器和堅固的安全特性使其成為可靠的設備,非常適合需要均勻、精確的表面蝕刻/發布的應用。
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