二手 TRION MP 600M HS #293668413 待售

TRION MP 600M HS是一種高級蝕刻器/asher,用於各種精確處理任務。它具有許多功能,使其成為各種操作的理想選擇。這款蝕刻器/asher采用現場驗證、可靠且易於管理的腔室體系結構構建,該體系結構提供受控的熱性能、可靠的真空設備完整性以及專為支持過程開發而設計的直觀體系結構。該單元還具有可定制的陰極設計,針對要求最苛刻的工藝進行了優化。其電源具有先進的數字脈沖控制功能，提供高功率和高頻運行，不像許多競爭機型。此外,該設備還具有自我診斷功能,可不斷監控系統。這些自我診斷可方便地進行故障排除,以識別潛在問題及其原因。該機器非常堅固，並配有一個完整的安全單元，提供冗余數據收集、自動安全聯鎖和一個集成的安全監視機，以確保所有操作員在編寫過程中保持安全。該單元具有一個完全自動化的過程控制工具，它提供對蝕刻過程的最終控制，從初始設置到操作結束。過程控制允許精確控制蝕刻器/灰燼室環境,包括溫度和壓力。它還為用戶提供了許多調整蝕刻器速度、壓力和曝光時間的選項。此外,高級反饋資產有助於確保每個晶圓運行始終準確。對於高吞吐量處理,MP 600M HS提供了一系列安裝選項,可確保正確放置樣品。此單元還使用戶能夠集成多達四個不同的蝕刻器/asher腔室,以實現更大的進程。TRION MP 600M HS具有很高的兼容性,能夠處理各種蝕刻氣體和材料。這個單元設計方便5X 200毫米晶片或最多10個基板6英寸或更小。對於尋求可靠、準確的蝕刻/蝕刻解決方案的人員來說,此蝕刻器/蝕刻器是一種經濟高效的選擇。它得益於簡化可靠的腔室架構、先進的過程控制模型和自動化的安全性。MP 600M HS是生產或研究應用的理想選擇。