二手 TRION Oracle #193648 待售
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ID: 193648
Plasma etch and deposition system
VARIAN Turbo-V 300 ICE MacroTorr Turbo pump
VARIAN MoniTorr Transducer and controller
MKS Type 153 Control valve
Gas cabinets with control valves
Computer with controller cards.
TRION Oracle是專門為半導體加工而設計的蝕刻器/asher。其緊湊的設計和集成的用戶界面使其成為制造和裝配過程的理想解決方案。蝕刻器/灰化器的設計是為了在蝕刻/灰分循環中實現多功能性和速度,即使對於復雜結構上的極薄薄膜也是如此。該設備提供精細的光學控制和較高的處理溫度,以確保可靠的結果。Oracle 蝕刻器/asher提供了一系列用於處理各種材料和基材的特性和功能,如矽、砷化氙和藍寶石。它能夠蝕刻具有多種光刻圖樣的薄膜。該系統配備了可微調的光學單元,以精確控制蝕刻/灰燼循環過程。由於其特殊的溫度控制機確保了蝕刻和洗滌時的均勻加熱,因此蝕刻器/洗滌器可以處理各種敏感結構。此外,該工具擁有獨特的氣刀冷卻資產和低溫冷卻模型,以確保薄膜和復雜結構上的溫度均勻,並配備高分辨率壓力控制設備,以保持精確和可重復的蝕刻過程。該系統還可以為不同的基材和材料提供不同的蝕刻速率,使薄膜能夠精細蝕刻。TRION Oracle的靈活性和模塊化使其能夠針對不同的應用程序進行定制。蝕刻器/asher緊湊且易於使用,允許用戶快速設置流程,而無需將設備脫機。高級診斷、支持Web和智能切割工具有助於進一步簡化處理。Oracle直觀的用戶界面專為實現最佳性能和易用性而設計,使操作員能夠快速控制重要參數,如蝕刻深度、蝕刻持續時間和循環時間。此外,該蝕刻器還配備了先進的軟件,可以優化復雜結構的蝕刻和退火過程,並對圖像質量和結果進行實時監控。總體而言,TRION Oracle是一款高效、可靠的蝕刻器/asher,可在廣泛的處理任務中提供平穩、準確的結果。該裝置非常適合與半導體制造和組裝工藝有關的生產和研究,將有助於用戶實現一致的產品質量和高產率。
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