二手 TRION Phantom II #293770879 待售

TRION Phantom II是一種先進的asher/etcher，具有在半導體晶片和其他基板上快速沈積高分辨率材料的精確模式的能力。其超精確的材料沈積和陣列處理功能為客戶提供了業界領先的關鍵過程的速度、準確性和可靠性。Phantom II是一款高效、經濟且用戶友好的設備,專為小型和大型批處理應用而設計。其最先進的體系結構基於完全集成的Robots/Process/Analytics平臺,包括完全自動化的革命性線性驅動器系統。該單元具有一個專門的控制器，它與許多不同的軟件包接口，用於快速通信和數據處理。單元中的「機器人」模塊提供高精度的材料沈積和陣列。工藝模塊允許在使用多種基材時進行不同階段的工藝控制和優化。Analytics Module旨在在流程的每個步驟中提供用戶友好的監控和反饋。TRION Phantom II具有396 mm x 298 mm的大工作區域，位置精度為+/-3微米，取得優異成績。配備自動註射器，物料分配可以比傳統的手動分配技術更快、更精確地進行。這使客戶能夠針對每種特定的材料/基材組合進行優化,並確保最高的工藝可重復性。機器被封閉在一個由雙壁設計隔開的不銹鋼清潔室室內，使得即使在最苛刻的半導體環境中也能實現優越的顆粒抑制。該室裝有入口和出口空氣級聯工具，經過過濾，使總粒子計數保持在0.5微米至1.0微米，每立方英尺（0.5 μ米）低於50,000微粒。Phantom II還能夠感知汙染並監控過程終點，從而支持非常幹凈可靠的過程。此外，TRION Phantom II包含了高級流程監控和分析功能，如實時監控、音量控制、條形調整和自動流程參數召回，以確保過程的連續優化。Phantom II具有高度可靠和精確的材料沈積和陣列處理能力,可為客戶提供最高水平的技術和生產效率。