二手 TRION Phantom II #9225903 待售
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TRION Phantom II是一種蝕刻器/asher,設計用於加工直徑達200 mm的基板。它是一種先進的等離子體蝕刻和灰化設備,具有變頻射頻發生器,可提供高功率、可重復的處理控制。其先進的工藝監測和控制軟件允許可靠的基板處理,並在多個晶圓基板上得到統一的結果。該系統對包括多晶矽、聚酰亞胺、矽酸鹽玻璃和砷化的多種材料保持均勻、安全的蝕刻和灰化。Phantom II具有直觀的圖形用戶界面(GUI),使用戶能夠通過單擊鼠標幾次快速設置和腳本自動進程。其先進的工藝控制單元允許在手動和自動模式下獲得最佳的蝕刻和灰化效果。該機設計堅固靈活,可用於化學機械平面化(CMP)等先進工藝步驟。工藝參數對於不同的應用或基材都是可以快速調節的,使得它適用於各種各樣的材料。根據所處理的材料類型,該工具可配置多個用於蝕刻或灰化的工藝氣體供應。其加工室設有垂直和水平氣體輸送系統,將氣體均勻地分布通過腔底,防止出現熱點。同時,基板支架可以加熱到400攝氏度,以確保工藝的可重復性。為了提高安全性和可靠性,TRION Phantom II還包括氣體管理系統,用於監測和控制氮氣、氙氣、氧氣和二氧化碳等工藝氣體的水平。其真空管理資產確保真空水平保持在指定範圍內。該型號也是輕量化和設計為更大的舒適性符合人體工程學的操作。總體而言,Phantom II是一款可靠且安全的蝕刻器/灰化器,具有多種高級功能,可提供統一的蝕刻和灰化工藝。它的用戶友好界面使設置和腳本編寫比以往任何時候都容易,而可靠的過程控制和過程監控則提供一致的結果。該設備輕巧的框架和符合人體工程學的設計使其適合長期、大型的項目。
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