二手 TRION Phantom II #9308217 待售

TRION Phantom II是一種高精度的等離子體蝕刻器/灰化器,適用於學術、工業和政府研究中心的蝕刻和灰化。它具有一個自動化的三級工藝，能夠以高度的精確度和速度蝕刻或粉刷各種材料。幻影II從電源和真空室開始。在真空室內部，使用高壓源點燃了一系列氣體，例如氟、氧和氙。當材料進入工件支架時，這種活化的等離子體分解並去除表面材料，然後將其放入加工區域進行蝕刻或灰化。TRION Phantom II還配備了先進的智能運動模塊和快速轉向設備。運動模組控制晶圓座的運動、處理速率和處理區域的大小。快速轉向系統將等離子體引導至晶圓所需的表面積，從而實現精確、均勻的蝕刻或灰化。Phantom II配備了一個完全集成、用戶友好的操作單元，以及材料和蝕刻/灰化協議的綜合庫。它包括蝕刻速率、蝕刻鉛輸入、蝕刻采樣、目標蝕刻速率和最大蝕刻速率的參數。它還提供了一系列安全協議來保護用戶和等離子體腔。TRION Phantom II的蝕刻和灰化技術提供了優於傳統等離子體蝕刻技術的質量。它也極具彈性，可用於處理不同尺寸的材料，控制蝕刻速度、目標區域，以及使用各種材料。總體而言,Phantom II是一款功能強大的高級蝕刻機/asher機器,可提供卓越的準確性、速度和靈活性。使用方便，適用於種類繁多的材料。它產生的優越成果對研究和工業應用具有很高的價值。