二手 TRION Phantom III #189297 待售

TRION Phantom III是一款蝕刻器和asher，旨在提供精確高效的材料處理。適用於多個領域的應用，包括半導體器件的制造、薄膜結構的生產、精密元件的制造。該設備的最大晶圓尺寸為8英寸，能夠用各種氣體進行蝕刻。它的內置診斷允許方便的故障排除和維護，而工廠的先進控制系統保證過程的穩定性和可重復性。Phantom III是使用元件式架構構造的；這允許用戶為特定應用程序安裝組件,例如單個晶片處理或批處理。蝕刻和灰化是在水平或垂直方向上進行的,從而實現更高的生產率和更精確的結果。使用的特定部件包括耐腐蝕合金、石英管和陽極、用於陽極沈積的鈦基材料以及各種絕緣體和電容器。該單元配備了遠程觸摸屏，可實時監控蝕刻和灰化過程。此監控包括溫度、壓力和蝕刻時間。它還允許一個調整功率設置，等離子體氣體壓力和過程變量以獲得更高的精度。TRION Phantom III的蝕刻速率約為每張通行證一次蝕刻，機器的其他特性包括蝕刻顆粒提取系統，有助於去除蝕刻室中的有害顆粒，以及工藝時間優化，從而減少了不需要的蝕刻時間。等離子體源也可用於修改蝕刻動力學，從而提高蝕刻表面的均勻性。Phantom III被設計為相對無維護，大部分組件可在內部更換或維修。它還被設計為與其他標準處理設備結合使用，如負載鎖、輸送機和真空過濾裝置。總之，TRION Phantom III是一種高度可靠和高效的蝕刻器和asher，適合精確和困難的應用。它提供了一系列高級功能,如遠程監控和過程優化,以及更傳統的蝕刻和灰化功能。這使得它非常適合用於各種行業，包括半導體制造、薄膜結構生產和精密元件制造。