二手 TRION Phantom III #293750011 待售

TRION Phantom III是一種廣泛用於半導體及相關工藝的蝕刻器/灰化器。它設計用於小面積和大面積矽、玻璃、金屬、光刻膠等材料的精確、可靠的蝕刻和粉刷。該設備還提供了高度精確的聚焦離子束（FIB）銑削,即使是最細膩的表面也能實現精確處理。Phantom III配備了技術先進的特性，如高縱橫比、高速數字步進電機和精確的Z級運動控制、現場驗證、快速脈沖技術氣體輸送系統、大功率射頻發生器和雙平衡射頻匹配網絡。這可以實現高度精確的蝕刻/灰度處理速率高達100納米每通道。TRION Phantom III單元還具有高度靈敏的端點檢測、自動配方排序和網絡就緒PC控制功能。它還有幾個可選的硬件組件，進一步增強其能力，如長壽命的2軸萬向節級、高性能的FIB柱和具有超純（UHV）泵送能力的高級高真空室。此擴展的升級列表允許機器在具有挑戰性的三維結構上執行校準蝕刻/灰化,結果一致。Phantom III的設計也考慮到了安全性，帶有獨特設計的安全殼門，為用戶提供了額外的保護。它還擁有用於數據安全的高級網絡安全工具和用於更大自動化的高級過程控制軟件。此外,TRION Phantom III可以維修和升級,其許多組件可作為單獨的部件使用,因此更易於維修或升級。該資產還配備了一系列不同的氣體輸送系統，包括自動采樣器、體積流量控制器和壓力開關，使用戶能夠快速準確地控制他們的工藝參數。總之，Phantom III 蝕刻器/asher是一個用途廣泛、可靠的模型，非常適合在半導體及相關行業工作的人。其先進的功能和可升級的組件使其成為高精度和精確流程以及安全操作的理想選擇。