二手 TRION Sirus T2 #9235359 待售

TRION Sirus T2是一種最先進的蝕刻器/asher，旨在在各個領域創造精確、準確和可靠的結果。它能夠使用各種蝕刻/灰燼和氣體操作。它允許精確控制蝕刻速率,並創建無漂移或區域變化的高質量幾何形狀。Sirus T2由用於溫度、計時器和工藝參數設置的數字微處理器控制系統提供動力,該系統能夠精確控制蝕刻和灰化過程,從而實現可重復和穩定的工藝。此外，它還能夠支持各種用於蝕刻和灰化工藝的化學品，包括O2、Ar、N2或其他化學氣體。TRION Sirus T2還配備了高分辨率視覺系統，包括兩個晶圓級對準系統。這允許每個晶片精確對準工藝室，並允許精確定位蝕刻尖端。蝕刻技巧是專門為提供最佳蝕刻輪廓而設計的技巧。這些提示協同工作，在晶圓芯片上提供均勻的蝕刻和灰化，得到精確準確的結果。Sirus T2提供多種安全功能,如工藝室通風和壓力監測,以及符合ES2要求的容器和系統。它還能夠監測和控制溫度，並提供過程反饋，以確保最佳蝕刻和灰化結果和盡可能高的質量。該設備還配備了先進的軟件功能，允許用戶定制所使用氣體的蝕刻速率、循環次數、時間和類型。此外,該軟件還提供各種高級功能,包括配方管理和概念級庫,使用戶能夠快速開發和學習新配方。TRION Sirus T2設計精確度、準確性和可靠性，非常適合實驗室、大學、研發和生產設施使用。它提供了靈活性、可擴展性和可靠性,使其能夠承擔最具挑戰性的蝕刻和灰化任務。憑借其先進的功能,此蝕刻器/asher提供了卓越的性能、準確性和可靠性。