二手 TRION Titan #293670453 待售

TRION Titan是一種專用於各種材料的深反應性離子蝕刻器/asher。它具有獨特的設計,有兩個用於蝕刻和灰化的電隔離室,可消除樣品汙染,同時實現高生產率、經濟高效的工藝。該設備具有優越的輪廓特性和高通量的精密蝕刻和灰化。它能夠將薄膜從幾埃蝕刻成幾微米的厚度。蝕刻過程由射頻電源提供動力,將1到1000瓦的功率傳遞到集成到蝕刻室的柱子上。該柱將射頻能量轉化為離子，然後向樣品加速。該員額的高度可調，使射頻頻率與傳入離子匹配。通過註入蝕刻氣體增強蝕刻工藝，提高了蝕刻速率，提高了蝕刻深度均勻性。該系統可用於幹蝕刻、濕蝕刻和定向蝕刻。灰化過程由直流電源提供動力,該直流電源將高達一千伏的功率傳遞到集成到灰化室中的立柱上。然後，柱子將直流能量轉化為離子，然後向樣品加速。這些離子從樣品中去除材料的頂層。與蝕刻一樣，灰化過程可以通過再次註入灰化氣體來增加灰化速率和由此產生的深度均勻性。土衛六安裝了一整套流程監控和計量硬件，以確保每個樣品的精確蝕刻和灰度。該裝置能夠在蝕刻和灰化過程中監測原位端點檢測，從而能夠精確控制蝕刻和灰化輪廓。此外，這臺機器還能夠使用激光幹涉測量和光學剖面儀測量產生的剖面圖。TRION Titan是研究和生產各種材料的理想工具，特別是用於高長寬比MEMS、納米圖案和微流體等應用，因為它具有獨特的蝕刻和灰度設計。