二手 ULVAC CE-300I #9055173 待售
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ID: 9055173
優質的: 2004
Etcher, 6"
Load lock type
Power supply: Antenna, 1kW, 13.56MHz
Pumping system: TMP-DRP-APC
ESC hold
Gases: CF4, C3FF8, He, Ar, O2
2004 vintage.
ULVAC CE-300I是一種蝕刻器,又稱asher,由ULVAC設計制造,ULVAC是各行業真空科學技術的領先供應商。其精巧的設計,提供先進的技術和特別緊湊的形式,使其適合工業和學術生產。CE-300I利用物理和化學工藝精密、精密地處理諸如電子技術和其他基材等薄膜部件。它利用各種非熱過程來創建精確的圖樣、蝕刻不均勻的表面以及塗覆各種物質的材料。ULVAC CE-300I的工作區域約為300 mm x 300 mm,最大高度為110mm。它配備了兩個獨立的電源:一個離子源和一個底物源。離子源提供可變光束電流和電壓,工作面積約為120 mm x 150 mm。離子源允許將選定的材料濺射到基材上。控制源提供了廣泛的容量控制和各種程序級控制功能。Asher還具有多種安全功能,包括自動門鎖機構和過溫監視器。門鎖機構結合內置安全警報器,確保用戶和環境的最大安全。此外,減壓系統有助於保持最佳工作環境,同時防止任何汙染。CE-300I室分為兩個隔間,便於清洗和維護。主室配有兩根高純度鋁管和1.5米的熱熱銨絕緣,高效傳熱。此外,asher使用雙頻射頻發生器,以確保穩定的操作和均勻蝕刻基板材料。ULVAC CE-300I在一系列電源上運行,包括三相交流輸入、5-243VAC範圍和50/60 Hz頻率。此外,CE-300I還具有各種有用的輸入、輸出和端口,以便於控制和連接。它設計為易於操作,並為簡單操作提供直觀、用戶友好的界面。總之,ULVAC CE-300I是一種面向工業和學術生產的先進蝕刻器.它外形緊湊,設計精密,操作高效,是基材精密加工和塗層的理想選擇。
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